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    當前位置:首頁  >  產品中心  >  管式爐  >  1000℃-1100℃管式爐  >  GSL-1100X-8.5-SR8.5″帶滑動法蘭真空管式爐GSL-1100X-8.5-SR

    8.5″帶滑動法蘭真空管式爐GSL-1100X-8.5-SR

    簡要描述:8.5″帶滑動法蘭真空管式爐GSL-1100X-8.5-SR是三溫區滑軌真空管式爐,可通入混合氣體進行低壓力化學氣相沉積處理。本機可在不同氣氛下,在Z大6″的基片上生長多種薄膜。

    • 產品型號:GSL-1100X-8.5-SR
    • 廠商性質:生產廠家
    • 更新時間:2016-04-07
    • 訪  問  量:2588

    詳細介紹

     

    產品型號

      8.5帶滑動法蘭真空管式爐GSL-1100X-8.5-SR

    主要特點

      1雙層殼體,配有循環風冷系統。爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,環保節能殼體溫度<70℃。

      2滑軌式法蘭結構,方便取放樣品。

      3設有K型測溫熱電偶和一個額外的溫度校準檢測系統。

      4采用PID控制器 ,可以設置30段升降溫程序。

      5右端法蘭裝載石英管堵,用以阻止熱輻射;左端法蘭上設有4片磨砂石英擋片,用于阻止熱輻射。

      6已通CE認證。

    技術參數

      1電源:單相220V  8KW

      2、石英管:外徑Φ216mm,內徑Φ208mm,長1300mm

      3、加熱元件:Ni-Cr-Al電阻絲

      4、加熱區域:900mm

      5恒溫區域3500mm

      6工作溫度:zui高1100連續工作400-1000

      7、zui大升降溫速率:10/min

      8、控溫精度:±1

      9、真空度:10-2torr(機械泵),10-5torr(分子泵)

      10熱偶檢測真空接口:KF-25口:1

      11進氣接口:5路,精密不銹鋼針閥密封

      12爐體:1300mm×680mm×920mm

      13滑軌:600mm

    產品規格

      尺寸:1780mm×1780mm×1650mm重量:354kg

    標準配件

    1

      石英管堵

    1

    2

      KF-25真空擋板閥

    1

    3

      KF-40不銹鋼波紋管

    1

    可選配件

      1軟件接口模塊和PC

      2K型熱電偶(Φ6.35mm×915mm,用于對爐膛溫度校準)

      3冷水機

      4、高速雙極旋片泵

      5、數顯真空計

      6、高真空機組(機械泵和渦輪分子泵)

      5、質量流量供氣系統

      6、石英樣品架

      7、可移動爐架(800mm×600mm

     

     

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