TFMS-LD反射光譜薄膜測(cè)厚儀

簡(jiǎn)要描述：TFMS-LD是一款反射光譜薄膜測(cè)厚儀，可快速精確地測(cè)量透明或半透明薄膜的厚度，其測(cè)量膜厚范圍為15nm-50um，儀器所發(fā)出測(cè)試光的波長(zhǎng)范圍為400nm-1100nm。此款測(cè)試系統(tǒng)理論基礎(chǔ)為鏡面反射率，并且采用光纖反射探頭。儀器尺寸小巧，方便于在實(shí)驗(yàn)室中擺放和使用。

產(chǎn)品型號(hào)：
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間：2018-11-05
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TFMS-LD反射光譜薄膜測(cè)厚儀是一款利用反射光譜測(cè)試薄膜厚度的儀器，可快速精確地測(cè)量透明或半透明薄膜的厚度而不損傷樣品表面的薄膜，是一款無(wú)損測(cè)厚儀，其測(cè)量膜厚范圍為15nm-50um，測(cè)量膜厚范圍廣，尤其適用于超薄薄膜厚度的測(cè)量。儀器所發(fā)出測(cè)試光的波長(zhǎng)范圍為400nm-1100nm，波長(zhǎng)范圍廣，因此，測(cè)試薄膜厚度的范圍廣。TFMS-LD反射光譜薄膜測(cè)厚儀測(cè)試系統(tǒng)的理論基礎(chǔ)為鏡面光纖反射探頭，該儀器尺寸小巧可節(jié)省實(shí)驗(yàn)室空間，操作方便，讀數(shù)直觀，方便于在實(shí)驗(yàn)室中擺放和使用。

產(chǎn)品型號(hào)	TFMS-LD反射光譜薄膜測(cè)厚儀
測(cè)量膜厚范圍	15nm-50um
光譜波長(zhǎng)	400 nm - 1100 nm
主要測(cè)量透明或半透明薄膜厚度	氧化物氮化物光刻膠半導(dǎo)體（硅，單晶硅，多晶硅等）半導(dǎo)體化合物（ALGaAs,InGaAs,CdTe,CIGS等）硬涂層（碳化硅，類金剛石炭）聚合物涂層(聚對(duì)二甲苯，聚甲基丙烯酸甲酯，聚酰胺) 金屬膜
特點(diǎn)	測(cè)量和數(shù)據(jù)分析同時(shí)進(jìn)行，可測(cè)量單層膜，多層膜，無(wú)基底和非均勻膜包含了500多種材料的光學(xué)常數(shù)，新材料參數(shù)也可很容易地添加，支持多重算法: Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等體積較小，方便擺放和操作可測(cè)量薄膜厚度，材料光學(xué)常數(shù)和表面粗糙度使用電腦操作，界面中點(diǎn)擊，即可進(jìn)行測(cè)量和分析
精度	0.01nm或0.01%
準(zhǔn)確度	0.2%或1nm
穩(wěn)定性	0.02nm或0.02%
光斑尺寸	標(biāo)準(zhǔn)3mm,可以小至3um
要求樣品大小	大于1mm
分光儀/檢測(cè)器	400 - 1100 nm 波長(zhǎng)范圍光譜分辨率: < 1 nm 電源 100-250 VAC, 50/60 Hz 20W
光源	5W的鎢鹵素?zé)?/span> 色溫：2800K 使用壽命:1000小時(shí)
反射探針	光學(xué)纖維探針，400um纖維芯配有分光儀和光源支架
載樣臺(tái)	測(cè)量時(shí)用于放置測(cè)量的樣品
通訊接口	USB接口，方便與電腦對(duì)接
TFCompanion軟件	強(qiáng)大的數(shù)據(jù)庫(kù)包含兩500多種材料的光學(xué)常數(shù)（n：折射率，K：消失系數(shù)）誤差分析和模擬系統(tǒng)，保證在不同環(huán)境下對(duì)樣品測(cè)量的準(zhǔn)確性可分析簡(jiǎn)單和復(fù)雜的膜系
設(shè)備尺寸	200x250x100mm
重量	4.5kg