小型高能直流磁控濺射儀

產(chǎn)品型號(hào)

VTC-16-SM小型高能直流磁控濺射儀

技術(shù)參數(shù)

1、輸入電源：220VAC 50/60Hz

2、濺射電流：0-150 mA可調(diào)

3、功率：＜2KW

4、輸出電壓：1600VDC（max）

5、濺射腔體

（1）.采用石英腔體，尺寸：166mm OD x 150mm ID x 290mm H

（2）.密封：采用O形密封圈密封

6、濺射頭&樣品臺(tái)

（1）.二英寸帶水冷的磁控濺射頭（注意：水冷機(jī)不是標(biāo)配）另有1英寸靶頭可選

（2）.一個(gè)直徑50mm不銹鋼樣品臺(tái)，樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)速率0-5 RPM

（3）.安裝有一可手動(dòng)操作的濺射擋板

（4）.樣品臺(tái)和靶頭之間的距離可以調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)范圍：30-80mm

（5）.靶頭支架，可以在非濺射狀態(tài)放置濺射靶頭

（6）.濺射面積：4英寸（max）

7、控制面板

6" PLC集成觸摸屏控制面板，可控制真空、電流、靶材位置和基片加熱溫度

8、真空系統(tǒng)

（1）安裝有KF25真空接口

（2）數(shù)字真空壓力表（Pa）

    （3）此系統(tǒng)運(yùn)行需要Ar氣，并且氣瓶上安裝有減壓閥（設(shè)備中不包含）

（4）采用機(jī)械泵 <1.0E-2 Torr

（5）采用渦旋分子泵 <1.0E-5 Torr

（6）可在本公司選購各種真空泵

9、進(jìn)氣

含一個(gè)控制進(jìn)氣的針閥和一個(gè)放氣閥，本設(shè)備接氣需要安裝減壓閥

10、靶材

（1）靶材尺寸要求：Φ50mmx(0.1-2.5) mm(厚度)

（2）適合濺射Au,Ag,Cu,Al,Ti,等金屬（可在我公司選購）

產(chǎn)品規(guī)格

1、產(chǎn)品外型尺寸：（L）460 mm × （W）330 mm × （H）520 mm

2、凈重：20 kg（不包含泵及水冷機(jī)）

可選配件

薄膜測(cè)厚儀

加熱樣品臺(tái)

浮子流量計(jì)