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    SE-VM光譜橢偏儀

    簡要描述:產品簡介:SE-VM 是一款高精度快速測量光譜橢偏儀。可通過橢偏參數、 透射/反射率等參數的測量,快速實現光學參數薄膜和納米結構的表征分析,適用于薄膜材料的快速測量表征。支持多角度,微光斑,可視化調平系統等高兼容性靈活配置,多功能模塊定制化設計。

    高精度橢偏測量解決方案;超高精度、快速無損測量;支持多角度、微光斑、可視化調平系統功能模塊靈活定制;豐富的數據庫和幾何結構模型庫,保證強大數據分析能力

    • 產品型號:
    • 廠商性質:生產廠家
    • 更新時間:2019-02-15
    • 訪  問  量:3705

    詳細介紹

    價格區間面議產地類別國產

     

    產品型號

    SE-VM光譜橢偏儀

    主要特點

    1、采用高性能進口復合光源,光譜覆蓋可見到近紅外范圍 (380-1000nm)

    2、高精度旋轉補償器調制、PCRSA配置,實現Psi/Delta光譜數據高速采集

    3、支持系列配置靈活,可根據不同應用場景支持多功能模塊化定制

    4、數百種材料數據庫、多種算法模型庫,涵蓋了目前絕大部分的光電材料

    技術參數

    1、自動化程度:手動變角

    2、應用定位:通用型

    3、基本功能:Psi/Delta、N/C/S、R/T等光譜

    4、分析光譜380-1000nm(可擴至210-1650nm)

    5、單次測量時間:0.5-5s

    6、重復性測量精度:0.01nm

    7、光斑大小:大光斑2-3mm,微光斑200μm

    8、入射角調節方式:手動變角

    9、入射角范圍:55-75°(5°步進),90°

    10、找焦方式:手動找焦

    11、Mapping行程:不支持

    12、支持樣件尺寸:大至180mm

    可選配件

    1

    溫控臺

     

    2

    Mapping擴展模塊

     

    3

    真空泵

     

    4

    透射吸附組件

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